processwindow中文

2018年5月27日 — 为了更好地回避晶圆之间工艺参数的涨落对确定工艺窗口的影响，可以在同一片晶圆上改变曝光能量和聚焦度，再用缺陷检测的方法来确定最佳曝光条件。

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中文名. 工艺容限. 外文名. Process Window. 英文缩写. PW. 对于成像精确度、曝光度、焦深三个要素，分别可以用不同的参数来表示。 成像精确度的表示方法有很多，最直接的 ...

中文名. 工藝容限. 外文名. Process Window. 英文縮寫. PW. 對於成像精確度、曝光度、焦深三個要素，分別可以用不同的參數來表示。 成像精確度的表示方法有很多，最直接的 ...

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